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簡(jiǎn)要描述：Nanosystem NV-1000白光干涉儀是利用白光干涉特性來(lái)進(jìn)行表面形貌的測(cè)量，它結(jié)合了典型的WSI非常高的垂直分辨率和一個(gè)非常大的面積高達(dá)21.7毫米x16.3毫米。這使得高精度和大面積快速測(cè)量成為可能，而無(wú)需縫合。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2021-04-17訪 問(wèn) 量：1943產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 35萬(wàn)-50萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
Nanosystem NV-1000白光干涉儀
WSI白光干涉/PSI相位干涉測(cè)量檢測(cè)設(shè)備，利用白光干涉現(xiàn)象以及干涉信號(hào)處理方式，高精度真實(shí)還原測(cè)量物體的輪廓原貌，解決了測(cè)量高精度物體時(shí)，只能破壞測(cè)量物做切片的難題。
設(shè)備測(cè)量應(yīng)用涵蓋晶圓，液晶，等離子顯示板，半導(dǎo)體，透鏡曲率測(cè)量，印刷電路板等方面。縱向測(cè)量精度高達(dá)0.5nm/0.1nm（WSI/PSI）以下，平面測(cè)量精度高達(dá)到7.4nm以下。其高精度，廣領(lǐng)域度，客戶體驗(yàn)度，受到了高精制造行業(yè)的喜愛(ài)。
設(shè)備原理
WSI白光干涉和PSI相位干涉原理雖然測(cè)量原理不同，但是除了使用單頻光和多頻光這一點(diǎn)不同外，使用同樣的光學(xué)和測(cè)量系統(tǒng)，因此可以在同一設(shè)備上進(jìn)行使用。
兩種測(cè)量方法共同的特征是利用干涉信號(hào)進(jìn)行處理。干涉信號(hào)是從任意光源同時(shí)出發(fā)的兩束光通過(guò)不同的光路后疊加時(shí)，根據(jù)兩束光的光路距離差產(chǎn)生明暗相間的物理現(xiàn)象。WSI/PSI設(shè)備正是使用了以上原理進(jìn)行測(cè)量。
WSI測(cè)量原理
WSI（White-LightScannng Interferometry）的特征
-在掃描范圍內(nèi)持續(xù)掃描后進(jìn)行測(cè)量。
-在允許掃描的范圍內(nèi)可以測(cè)量高度。
PSI測(cè)量原理
PSI（Phase ShiftingInterferometry）測(cè)量原理
PSI的特征
-中心波長(zhǎng)（大約600nm）的1/4為間隔，進(jìn)行4回掃描后測(cè)量。
-與掃描范圍無(wú)關(guān)，只能測(cè)量250nm以下的高度。
Nanosystem NV-1000白光干涉儀技術(shù)參數(shù)：
干涉物鏡：?jiǎn)瓮哥R可選
掃描范圍：0-180um（270um可選）
垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm
傾斜臺(tái)：±3°
Z軸行程：30mm（手動(dòng)）
工作臺(tái)面：50X50mm（手動(dòng)）
產(chǎn)品咨詢
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